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Surfscan? SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的Surfscan SP1平臺的第二代產品，用于無圖案晶圓檢測。Surfscan SP2采用了開創(chuàng)性的紫外線（UV）激光技術、新的暗場光學技術和先進的算法，能夠發(fā)現(xiàn)小至37nm的缺陷，在相同的靈敏度下，其產量比上一代系統(tǒng)快2倍。SP2專為射頻、汽車、SiC、GaN、LED等新興技術和高達≥4xnm設計規(guī)則的成熟工藝節(jié)點而設計，在整個半導體生態(tài)系統(tǒng)中，為襯底、IC、設備和材料制造商提供其所需的工藝和設備的認證與監(jiān)測。

Surfscan系列無圖案檢測儀旨在實時捕獲裸晶圓、光滑和粗糙薄膜和堆疊、光阻和光刻堆疊上的關鍵缺陷，并對其進行分類。通過及早發(fā)現(xiàn)和識別這些關鍵缺陷及表面質量問題，Surfscan系統(tǒng)能夠更快地識別工藝和設備問題，從而加速量產投產、提高良率并增進盈利。SP2 Pro系列設備既能滿足研發(fā)探索應用，也同樣適用于在一個完整的制造環(huán)境中為關鍵設備監(jiān)測提供檢測點，所有這些都可以由這一個系統(tǒng)完成。

產品特點：

? 直入射和斜入射光學照明模式為捕獲各種不同的缺陷和表征晶圓質量提供了一系列不同的方法

? 多種光束尺寸/產量/靈敏度模式可針對每個應用進行優(yōu)化并提供其所需的**性能

? 對硅襯底設備進行認證和工藝監(jiān)控，可為200mm/300mm晶圓格式提供>37nm的靈敏度

? 高靈敏度模式擴展了研發(fā)應用的能力

? SURFimage?數(shù)據通道能夠識別如完整晶圓圖像中的表面微粗糙度局部變化之類的空間擴展的表面異常

? 重新啟動產品制造以提高可維護性和供應的可預測性

? 采用標準晶圓傳送系統(tǒng)并可實現(xiàn)靈活配置