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槽式清洗機 Ultron B200品牌
佳鼎半導體產地
山東樣本
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關鍵應用：
柵極預清洗
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蝕
氮化硅腐蝕
CoSix選擇性腐蝕
產品優(yōu)勢：
1、占地面積小，將外部unit 集成在設備內部來減小整體的占地面積；
2、高產能，優(yōu)化的Marangoni Dryer；
3、重新設計槽體流場，較好的清洗效果和均一性;
4、有機清洗，控片回收；
5、機臺將back conveyor集成在機臺的后上方，節(jié)省了空間 ；
6、機臺采用PLC和PC的結合控制方式， 系統(tǒng)可靠高；
7、優(yōu)化機臺內部流場設計，帶來更好的articleperformance
8、破片偵測系統(tǒng)，防止二次傷害；
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