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1）： 適用于對(duì)硅片、藍(lán)寶石片、氮化鎵、砷化鎵、碳化硅片等半導(dǎo)體晶圓的全自動(dòng)離心脫水、氮?dú)獯祾吆娓傻龋?nbsp;
2）： 適用于2-12”晶圓的脫水甩干；
3）： 配備電導(dǎo)率測(cè)試儀，可選清洗終點(diǎn)判定依據(jù)；
4）： 配備旋轉(zhuǎn)支架：工作轉(zhuǎn)速 ：400-2200rpm；轉(zhuǎn)速誤差<5%；平衡等級(jí)：G40；采用光盤自動(dòng)定位，定位可靠；
5）： 觸摸屏+PLC控制方式；
6）： 配備靜電消除裝置：將帶電離子吹向甩干桶內(nèi)以中和桶內(nèi)靜電離子。
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