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Marangoni干燥
1）： 適用于多種規(guī)格晶片的干燥；
2）： 獨(dú)立的控制系統(tǒng)，可單獨(dú)使用，也可整個(gè)模組兼容到自動(dòng)清洗機(jī)上使用；
3）： 無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，防止運(yùn)行時(shí)晶圓破損；
4）： *小的活動(dòng)部件提供更高的系統(tǒng)可靠性，降低設(shè)備維護(hù)費(fèi)用；
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