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12寸全自動(dòng)堿腐蝕機(jī)品牌
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12寸全自動(dòng)堿腐蝕機(jī)
1）： 適用于6-12英寸的硅片腐蝕清洗功能
2）： 去邊規(guī)格0.4-1.5mm,去邊精度±0.1mm，特殊規(guī)格支持定制；
3）： 設(shè)備包含F(xiàn)OUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR機(jī)械手,機(jī)械模組，Buffer位，刻蝕槽，水洗槽，甩干位，儲(chǔ)酸槽；
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