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全自動(dòng)RCA清洗機(jī)
1）： 采用典型、普遍的濕法清洗方法，使硅片清洗的更徹底；
2）： 適用于6-12”晶圓的刻蝕清洗；
3）： 適用于半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體（碳化硅）等領(lǐng)域；
4）： 全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配/補(bǔ)液，保證設(shè)備的安全穩(wěn)定性；
5）： 高速移載機(jī)械手，伺服驅(qū)動(dòng)控制，保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠；
6）： 在線式甩干，保證清洗的潔凈度；
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