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SIC研磨后清洗機
SIC研磨后清洗機

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型號

SIC研磨后清洗機

品牌

天津南軒

產(chǎn)地

天津

樣本

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南軒(天津)科技有限公司

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 1): 適用于6-12英寸的硅片腐蝕清洗功能

 2): 12”無盒式(No Cassette)晶圓批次處理可供選擇;

 3): 軟件客制化、模塊化設計,工序可靈活編輯、組合選配;

 4): 全程自動化控制,無人工干預,保證產(chǎn)品性能的一致性;

 5): 根據(jù)工藝需求,槽體可匹配超聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)和過濾等功能;

 6): 配備高速移載機械手,伺服驅(qū)動控制,保證運行平穩(wěn),定位可靠;

 7): 可根據(jù)工藝需求,匹配超(兆)聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、溢流循環(huán)噴淋等多種功能;

 8): 機臺可采用晶圓承載、翻轉(zhuǎn)機構,晶圓移載機器人,F(xiàn)OUP LoadPort配合下料;

 9): 配備溫水慢提拉+IR干燥組合方式,確保晶圓干燥完全;


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