非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
±5℃最高溫度：
-額定溫度：
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閉管軟著陸擴散系統(tǒng)采用閉管擴散的方式。碳化硅漿把石英舟放入石英管后再退出石英管,保證整個工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾,工藝性能優(yōu)異。
控制系統(tǒng)特點
◎ 軟著陸裝置采用伺服控制,性能平穩(wěn)可靠、定位準確、承重量大。
◎ 管內壓力采用閉環(huán)控制,壓強穩(wěn)定。
◎ 工藝廢氣冷卻回收，保證工藝管道清潔。
◎ 高精度溫度控制技術，系統(tǒng)可自動拉溫區(qū)。
★支持SECS/GEM通訊
主要技術指標
Key technical parameters
◎ 工作溫度:600℃-1286℃
◎ 恒溫區(qū)長度:300~1500mm
◎ 溫區(qū)精度:±0.5℃
◎ **可控升溫速率:15℃/min
◎ **可控降溫速率:5℃/min
◎ 裝片數量:400片管(特大產能)
晶圓工藝指標
◎ 片內均勻性:<2%
◎ 片間均勻性: <2%◎ 批間均勻性: <2%
◎ 2管、3管、4管分別可選;自動裝載機械手可選。
★設備產能、性能、工藝指標優(yōu)于同類進口設備
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