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HJT吸雜爐
HJT吸雜爐

參考價格

面議

型號

HJT吸雜爐

品牌

賽瑞達

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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主要特點

◆產(chǎn)能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機

◆通訊:Melsec,MES.I/O,SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案

工藝規(guī)范

◆方阻值:30~60Ω/cmsq

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)

硬件規(guī)格

◆恒溫區(qū)長度:2800mm

◆溫區(qū)數(shù)量:6個溫區(qū)

◆**溫度:950℃

◆溫度均勻性:800℃~950℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

◆槳的**承重量:100kg

◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托獨立磷源柜,便于更換源瓶

優(yōu)點

◆快速的工藝認證,可以極高的提升生產(chǎn)

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆使用SiC槳使加載區(qū)穩(wěn)定,SiC舟托使用壽命更長

◆更大的正常運行時間和更低的成本,良好的技術支持和服務,確保設備長期穩(wěn)定使用


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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