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低壓硼擴(kuò)散爐品牌
賽瑞達(dá)產(chǎn)地
江蘇樣本
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其他金屬電熱元件：
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1050℃額定溫度：
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主要特點
◆產(chǎn)能:2200~2880pcs/管
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案
工藝規(guī)范
◆方阻值:50~350 Ω/cmsq
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)
暫無數(shù)據(jù)！
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