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擴(kuò)散爐品牌
賽瑞達(dá)產(chǎn)地
江蘇樣本
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擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于4-8英寸工藝尺寸。
控制系統(tǒng)特點(diǎn)
◎ 工藝曲線的自動運(yùn)行控制功能
◎ 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
◎ 系統(tǒng)故障自診功能
◎ 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
◎ 具有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng),良好的人機(jī)界面
◎ 具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
◎ 具有多種故障報警及各種安全互鎖保護(hù)功能
★支持SECS/GEM通訊
★該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能
主要技術(shù)指標(biāo)
◎ 晶圓尺寸:4~8英寸
◎ 工藝管數(shù):1~4管/臺
◎ 工作溫度范圍:400℃~1286℃
◎ 恒溫區(qū)長度:300~1500mm
◎ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:+0.5℃/24h
◎ **可控升溫速度:15℃/min
◎ **降溫速度:5℃/min
★可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品
暫無數(shù)據(jù)！
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