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工藝規(guī)范

◆繞鍍：<1mm

◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)

◆成膜種類：SiNx,SiONx,POLY

硬件規(guī)格

◆溫區(qū)數(shù)量：6個溫區(qū)

◆**溫度：650℃

◆溫度均勻性：300℃~650℃±1℃

◆晶圓裝載法：槳軟著陸

◆工藝腔的材質(zhì)：石英

主要特點

◆產(chǎn)能：616~768pcs/管(雙舟)

◆管數(shù)：6管

◆壓力控制：APC控制方式

◆系統(tǒng)控制：PLC和PC工控機

◆通訊：Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動化集成：用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案

優(yōu)點

◆快速的工藝認證，允許極高的生產(chǎn)提升

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù)，確保設(shè)備長期穩(wěn)定使用