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金屬污染物M-SPEC系列品牌
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金屬污染物M-SPEC系列
Full Automatic in Line System
Detection Limit: ~1ppt
Time to data: 30min ~ 1hrs
Detector: ICP-MS
Throughput: 3-6 per hour
自主研制的晶體生長(zhǎng)、研磨拋光、光學(xué)量測(cè)、化學(xué)檢測(cè)、芯片測(cè)試等設(shè)備， 已廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體集成電路制造的前、中、后道。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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