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晶圓隱裂外觀檢測設(shè)備(ADS)
晶圓隱裂外觀檢測設(shè)備(ADS)

參考價格

面議

型號

晶圓隱裂外觀檢測設(shè)備(ADS)

品牌

芯暉裝備

產(chǎn)地

浙江

樣本

暫無
浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品型號

  • 晶圓隱裂外觀檢測設(shè)備-ADS

應(yīng)用場景

  • 成型、拋光

檢測缺陷

  • 隱裂、崩邊、劃傷、線痕、化學(xué)臟污

檢測精度

  • 隱裂：30μm、正反面：20um；

產(chǎn)能

  • 185 WPH@300mm

產(chǎn)品特點

  • 隱裂檢、高產(chǎn)能、低過檢、ADC

晶圓種類

  • Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）






















適用于成型、拋光工藝段，應(yīng)用明場及紅外檢測原理進行無圖形晶圓的正反面及內(nèi)部無法肉眼觀測的隱裂缺陷檢測，具備崩邊、劃傷、線痕、化學(xué)臟污、隱裂等微小缺陷的檢出能力

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10分

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性價比

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