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晶圓隱裂外觀檢測設備(ADS)品牌
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適用于成型、拋光工藝段，應用明場及紅外檢測原理進行無圖形晶圓的正反面及內(nèi)部無法肉眼觀測的隱裂缺陷檢測，具備崩邊、劃傷、線痕、化學臟污、隱裂等微小缺陷的檢出能力
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