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晶圓表面及邊緣檢測(cè)設(shè)備-SEDI品牌
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| 產(chǎn)品型號(hào) | |
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | |
| 檢測(cè)缺陷 | |
| 檢測(cè)精度 | |
| 產(chǎn)能 | 85 WPH@300mm |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 微粒檢測(cè)、缺陷分布、不良分類、ADC |
| 晶圓直徑 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
| 產(chǎn)品型號(hào) | |
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | |
| 檢測(cè)缺陷 | |
| 檢測(cè)精度 | |
| 產(chǎn)能 | 85 WPH@300mm |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 微粒檢測(cè)、缺陷分布、不良分類、ADC |
| 晶圓直徑 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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