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德國Raith Voyager 新一代電子束光刻系統(tǒng)
高速且價(jià)格合理的電子束光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)精確的曝光效果
對于工業(yè)界和學(xué)術(shù)界所有關(guān)注速度和高分辨的電子束曝光應(yīng)用,我們推薦您選擇VOYAGERTM這款專業(yè)電子束光刻系統(tǒng)。
Raith非常重視這款具有吸引力的在使用壽命期間具有高性價(jià)比、新開發(fā)的、創(chuàng)新的eWRITE體系結(jié)構(gòu)。
系統(tǒng)的硬件和軟件被一致設(shè)計(jì)為自動(dòng)曝光操作,先進(jìn)的高性能圖形發(fā)生器和電子光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)并協(xié)同一致。
系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)8英寸樣品的高速曝光。系統(tǒng)的穩(wěn)定性是非常關(guān)鍵的指標(biāo),可保證大面積均勻曝光。該系統(tǒng)外部采用環(huán)境屏蔽罩,即使在稍差的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下,仍然能確保系統(tǒng)具有非常好的熱穩(wěn)定性,提高系統(tǒng)對外界環(huán)境的容忍度。
超高分辨率曝光系統(tǒng)
從*初設(shè)計(jì)到樣品制備完成,實(shí)現(xiàn)高速樣品加工,提高產(chǎn)量
智能設(shè)計(jì):設(shè)備占地面積小,且集成環(huán)境屏蔽罩
創(chuàng)新的、未來安全型系統(tǒng)架構(gòu)
專業(yè)的電子束曝光系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)每小時(shí)1cm2的高速曝光,高性價(jià)比
eWrite技術(shù)
Raith新推出的eWrite技術(shù)結(jié)合了專業(yè)電子束光刻的光學(xué)系統(tǒng)和創(chuàng)新的圖形發(fā)生器設(shè)計(jì),該技術(shù)適用于研發(fā)及批量生產(chǎn)的所有工作。
VOYAGER 應(yīng)用
.HSQ膠上制作亞7nm線條
.SU8膠上制作 1x1 cm2 菲涅爾透鏡,曝光時(shí)間為53分鐘,圖為菲涅爾透鏡中心區(qū)域
.PMMA雙層膠上制作150nm T型柵結(jié)構(gòu)
.ZEP520膠上制作 1x1 cm2光柵結(jié)構(gòu),曝光時(shí)間小于2小時(shí)
高速度模式(40nA束電流下曝光160um大結(jié)構(gòu))和高分辨模式(0.4nA束電流下曝光10nm細(xì)小結(jié)構(gòu))自動(dòng)切換
· ZEP520膠上制作光子晶體波導(dǎo)結(jié)構(gòu)
VOYAGER 產(chǎn)品詳情
主要應(yīng)用:
。高速直寫
。衍射光學(xué)元件
。防偽元件
。批量加工化合物半導(dǎo)體器件
樣品臺(tái):
。6“ 移動(dòng)范圍
。Z方向移動(dòng)范圍大
電子槍技術(shù):
。eWrite
。電子
。50 kV
獨(dú)特直寫模式:
。traxx 長線條無寫場拼接曝光模式
。periodixx周期結(jié)構(gòu)無寫場拼接曝光模式
暫無數(shù)據(jù)!