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SENTECH RIE SI591 平板電容式反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

SI 591特別適用于采用氟基和氯基氣體的工藝，可以通過預(yù)真空室和電腦控制的等離子工藝系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。SI 591的特點(diǎn)是占地空間小，高度靈活性，例如，SI 591可作為單一反應(yīng)腔系統(tǒng)集成在多腔系統(tǒng)中。

工藝靈活性

RIE蝕刻機(jī)SI 591 特別適用于氯基和氟基等離子蝕刻工藝

占地面積小且模塊化程度高

SI 591 可配置為單個(gè)反應(yīng)腔或作為片盒到片盒裝載的多腔設(shè)備。

SENTECH控制軟件

我們的等離子蝕刻設(shè)備包括用功能強(qiáng)大的用戶友好軟件與模擬圖形用戶界面，參數(shù)窗口，工藝窗口，數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。

預(yù)真空室和計(jì)算機(jī)控制的等離子體刻蝕工藝條件，使得SI 591 具有優(yōu)異的工藝再現(xiàn)性和等離子體蝕刻工藝靈活性。靈活性、模塊性和占地面積小是SI 591的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。樣品直徑大可達(dá)200mm，通過載片器加載。SI 591可以配置為穿墻式操作或具有更多選項(xiàng)的小占地面積操作。

位于頂部電極和反應(yīng)腔體的更大診斷窗口可以輕易地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH橢偏儀進(jìn)行原位監(jiān)測(cè)。

SI 591結(jié)合了計(jì)算機(jī)控制的RIE平行板電極設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)和預(yù)真空室系統(tǒng)。SI 591可配置用于各種材料的刻蝕。在SENTECH，我們提供不同級(jí)別的自動(dòng)化程度，從真空片盒載片到一個(gè)工藝腔室或多六個(gè)工藝模塊端口，可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng)，目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量。SI 591也可用作多腔系統(tǒng)中的一個(gè)工藝模塊。

SI 591 compact

• 可配置為至多6端口傳輸

• 結(jié)合RIE， ICP-RIE和PECVD腔體

• 手動(dòng)預(yù)真空室置片或片盒裝載

• 用于研發(fā)和高產(chǎn)量的多腔系統(tǒng)

• SENTECH控制軟件

SI 591 cluster

• 可配置為至多6端口傳輸

• 結(jié)合RIE， ICP-RIE和PECVD腔體

• 手動(dòng)預(yù)真空室置片或片盒裝載

• 用于研發(fā)和高產(chǎn)量的多腔系統(tǒng)

• SENTECH控制軟件