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FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成： Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng)，通過內(nèi)嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時(shí)。 小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm，分辨精度可達(dá)3648像素， 16位級(jí) A/D 分辨精度；配有USB通訊接口； Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)， 可精確計(jì)算如下參數(shù)： 1）單一或堆積膜層的厚度； 2）靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測(cè)量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權(quán)，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。 C) 參考樣片： a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片； b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片； c) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片； D) 反射探針臺(tái)和樣片夾具 可處理的樣品尺寸達(dá)200mm， 包含不規(guī)則的尺寸等； 手動(dòng)調(diào)節(jié)可測(cè)量高度可達(dá)50mm； 可針對(duì)更大尺寸訂制樣片夾具； Ε) 反射率測(cè)量的光學(xué)探針 內(nèi)嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm， 1組反射光探針200μm； |
暫無數(shù)據(jù)！
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