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FR-uProbe微米級薄膜表征
FR-uProbe微米級薄膜表征

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邁可諾技術(shù)有限公司

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FR-uProbe是涂層表征應(yīng)用的解決方案,要求光斑尺寸小至極小微米,例如微圖案表面,具有不規(guī)則表面的樣品,其表現(xiàn)出高水平的散射光和許多其它。使用FR-uProbe,在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度,光學(xué)常數(shù),反射率,透射率和吸光度測量只需點擊即可。

白光反射光譜(WLRS)測量在一定波長范圍內(nèi)從薄膜或多層疊堆反射的光量,入射光垂直于(垂直于)樣品表面。

通過來自界面的干涉產(chǎn)生的測量的反射光譜用于確定自支撐和支撐(在透明或部分/全反射基板上)薄膜堆疊的厚度,光學(xué)常數(shù)(nk)等。

應(yīng)用

o大學(xué)和研究實驗室

o半導(dǎo)體(氧化物,氮化物,硅,抗蝕劑等)

o MEMS器件(光刻膠,硅膜等)

o LED

o數(shù)據(jù)存儲

o陽極氧化

o彎曲基板上的硬/軟涂層

o聚合物涂料,粘合劑等

o生物醫(yī)學(xué)(聚對二甲苯,氣球壁厚等)

特征

o 單擊分析(無需初始猜

o 動態(tài)測

o 集成USB

o 保存視頻進行演示

o 350+不相同的材料

o 3年免費軟件更新

o Windows 7/8/10上運行

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