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微光顯微鏡PHEMOS系列
PHEMOS-1000是一款標(biāo)準(zhǔn)型高分辨率微光顯微鏡，其包含了一個(gè)紅外共焦激光顯微鏡。PHEMOS-1000可根據(jù)設(shè)備環(huán)境和設(shè)備裝置來(lái)靈活改變包括插座板到300mm雙面晶片探針等等的部件。它還可以適配高靈敏度近紅外相機(jī)和高分辨率納米透鏡等選配件。該顯微鏡有多種選配，包括紅外-光致阻值改變（IR-OBIRCH）分析、與大規(guī)模集成電路測(cè)試機(jī)連接和CAD導(dǎo)航功能等，這些選配有助于該顯微鏡處理多種測(cè)量需要。
黑盒照明燈含水銀，請(qǐng)根據(jù)當(dāng)?shù)胤ㄒ?guī)處理。
特性
可選配適用于高分辨率、高靈敏度觀測(cè)的納米透鏡
紅外共焦激光顯微鏡
紅外-光致阻值改變（IR-OBIRCH）分析功能（選配）
低電壓樣品用高靈敏度近紅外相機(jī)（選配）
數(shù)字lock-in組件加強(qiáng)紅外-光致阻值改變的檢測(cè)能力（選配）
可安裝300mm雙面半自動(dòng)探針
顯示功能
PHEMOS-1000將發(fā)光圖像疊加到高分辨率模板圖像上來(lái)快速定位缺陷點(diǎn)。對(duì)比度增強(qiáng)功能可使圖像更清晰，細(xì)節(jié)更多。
顯示功能
注釋
圖像的任何位置都可以顯示評(píng)論、箭頭等注釋符號(hào)。
比例顯示
可使用分段，在圖像上顯示比例寬度。
柵格顯示
圖像上可現(xiàn)實(shí)水平和垂直柵格。
縮略圖顯示
圖像可以以縮略圖的形式存儲(chǔ)和調(diào)用，stage坐標(biāo)等圖像信息也可顯示。
分屏顯示
模板圖像、發(fā)光圖像、疊加圖像以及參考圖像可一次顯示在4個(gè)窗口的屏幕上。
參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | PHEMOS-1000 |
|---|---|
| 探測(cè)目標(biāo) | 器件發(fā)光（發(fā)光探測(cè)功能） 電流改變（IR-OBIRCH功能） |
| 可用器件 | 300 mm 晶片 200 mm晶片 方塊形芯片 切割后晶片、封裝后器件（取決于探針和樣品固定裝置） |
| 適配探針 | 200/300 mm晶片用雙面半自動(dòng)探針*1 200/300 mm晶片用雙面手動(dòng)探針*1 200/300 mm晶片用半自動(dòng)探針（正面觀測(cè)）*1 200/300 mm晶片用手動(dòng)探針（正面觀測(cè)）*1 |
| 尺寸/重量 | 主單元： 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H)， Approx. 900 kg*2 控制臺(tái)：880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H)， Approx. 255 kg PC桌：1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H)， Approx. 45 kg |
| 線電壓 | AC220 V (50 Hz/60 Hz) |
| 功耗 | 3000W |
| 真空度 | 約80 kPa |
| 壓縮空氣 | 約0.5 MPa~0.7 MPa |
*1：根據(jù)需求選購(gòu)。 *2：PHEMOS主單元重量包含一個(gè)探針或等效重量。
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