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WG-1271超精密減薄機(jī)
WG-1271超精密減薄機(jī)

參考價(jià)格

面議

型號

WG-1271超精密減薄機(jī)

品牌

宏華電子

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
肇慶市宏華電子科技有限公司

金牌會員

|

第1年

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技術(shù)特點(diǎn):

● 背面減薄到去除應(yīng)力一體化,縮短了加工以外的作業(yè)時(shí)間,可以穩(wěn)定地實(shí)施厚度在50μm以下晶圓的薄型化加工和傳輸。
● 三主軸四工位全自動減薄機(jī),具備晶圓粗磨、精磨、拋光、傳輸、清洗、撕貼膜全自動精密減薄工藝能力。第三軸可實(shí)現(xiàn)干式拋光加工/超精密研削加工(特殊選項(xiàng))的多樣化應(yīng)用。

 

性能指標(biāo):

WG-1240自動減薄機(jī)
磨削方式(Z1,Z2)通過旋轉(zhuǎn)晶圓,實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削
磨削方式通過晶片旋轉(zhuǎn)實(shí)施不規(guī)則縱向切入式磨削
結(jié)構(gòu)方式3根主軸、4個承片臺,1回轉(zhuǎn)工作臺
磨削尺寸
mmMax.?300(Φ8″-Φ12″)
砂輪直徑
-

Φ300 mm Diamond wheel (Z1/z2-axis)

Φ450 mm,Drv polishing pad (z3-axis)
 

磨削主軸類型-高頻電機(jī)內(nèi)裝式空氣主軸
主軸數(shù)量-3
定額功率KW7.5
主軸轉(zhuǎn)速rpm1000-4000
承片臺裝片方式-真空吸附式
承片臺類型-多孔陶瓷式(8/12寸兼容)
轉(zhuǎn)速rpm0-300
承片臺數(shù)量4
測量儀測量范圍μm0-1800
分辨率μm0.1
重復(fù)精度μm±0.5
物料系統(tǒng)晶片盒數(shù)量μm2
晶片盒部流程模式μm同盒/異盒回收水
清洗裝置mm清洗及干燥
設(shè)備外形尺寸WxD×Hmm1905×3534×1874
設(shè)備重量kg6750

 


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易用性

10分

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宏華電子:高端裝備“智”造者,國產(chǎn)替代先鋒

高端裝備制造作為國家產(chǎn)業(yè)升級和科技創(chuàng)新的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè),正在引領(lǐng)全球經(jīng)濟(jì)的新一輪變革,它不僅代表著一個國家的工業(yè)實(shí)力,更是衡量其在全球產(chǎn)業(yè)鏈中位置的重要標(biāo)志。 根據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局辦公室印發(fā)的《戰(zhàn)略

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