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兩個鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設備品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
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致真設備還推出了多款互聯(lián)設備實現(xiàn)多個系統(tǒng)的互聯(lián)，適用于2~8英寸的晶圓。通過真空泵組搭配可實現(xiàn)晶圓的超高真空傳輸。根據(jù)需求可以選擇兩套系統(tǒng)直接相連，成本較低且運行可靠。也可以通過圓形互聯(lián)系統(tǒng)實現(xiàn)多個系統(tǒng)相連，通過選配進樣室可以實現(xiàn)超高真空過渡，減少對鍍膜系統(tǒng)的污染。
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