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采用新型微波反應(yīng)腔，有效沉積面積大而均勻；掀蓋式腔體開(kāi)合，便利操作及腔體清潔，生產(chǎn)效率高，更加適用于批量化工業(yè)產(chǎn)品的制備；該類型設(shè)備性能穩(wěn)定可靠，具有高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性，專為高品質(zhì)金剛石產(chǎn)品制備而設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品特性

1.一體式不銹鋼腔體，等離子體上方無(wú)任何環(huán)形縫隙。

2.**微波輸入功率6kw，微波反射功率＜20w。

3.獨(dú)特的腔體真空密封，設(shè)備極限真空＜0.5pa，腔體壓升率＜3pa/h（保壓前2小時(shí)）。

4.有效沉積直徑范圍60-75mm。

5.采用獨(dú)特的沉積臺(tái)溫控結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品制備周期內(nèi)無(wú)需調(diào)節(jié)腔壓、微波輸入功率，即可實(shí)現(xiàn)金剛石控溫，有效的保證了產(chǎn)品在不同生產(chǎn)周期內(nèi)的質(zhì)量一致性。

6.高度自動(dòng)化，一鍵啟動(dòng)完成全周期生產(chǎn)。