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磁控蒸發(fā)復(fù)合鍍膜機(jī)JCPF2600品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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設(shè)備型號：JCPF2600
鍍膜方式：磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式
真空腔室尺寸：L2600mmxH700mmxW260mm
極限真空：優(yōu)于 5.0x10-5Pa
基片臺尺寸：300mmx400mm向下兼容300mmx300mm
基片溫度：常溫
濺射靶：矩形平面靶1套，旋轉(zhuǎn)柱狀靶2套
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積：15000mmx5000mm
供電總功率：≥ 20kW 三相五線制
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