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熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF1200品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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設(shè)備名稱(chēng)：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備
設(shè)備型號(hào)：HF1200
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷
真空腔室尺寸：Φ1200mmxH1200mm
真空系統(tǒng)：高真空泵組系統(tǒng)
基片臺(tái)尺寸：Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(tái)（旋轉(zhuǎn)、升降可選）
襯底溫度：600 ～ 1100℃
電源：專(zhuān)用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式
氣路控制：4 路氣體流量控制
控制方式：PC+PLC+ 觸摸屏控制
占地面積：主機(jī) L5000mm×W3000mm×H4000mm
總功率：≥ 300kW
設(shè)備名稱(chēng)：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備
設(shè)備型號(hào)：HF1200
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷
真空腔室尺寸：Φ1200mmxH1200mm
真空系統(tǒng)：高真空泵組系統(tǒng)
基片臺(tái)尺寸：Φ500mm2×600mm2 方形基片臺(tái)（旋轉(zhuǎn)、升降可選）
襯底溫度：600 ～ 1100℃
電源：專(zhuān)用熱絲電源 2200A, 恒流或恒功率模式
氣路控制：4 路氣體流量控制
控制方式：PC+PLC+ 觸摸屏控制
占地面積：主機(jī) L5000mm×W3000mm×H4000mm
總功率：≥ 300kW
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