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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700

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面議

型號

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700

品牌

北京泰科諾

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京泰科諾科技有限公司

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設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF700

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ700mmxH700mm

真空系統(tǒng):高真空泵組系統(tǒng)

基片臺尺寸:350mm2×350mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)

襯底溫度:600 ~ 1100℃

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