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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— B型品牌
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四川樣本
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性能特點(diǎn)：
?采用特殊材質(zhì)反應(yīng)腔，能耐高溫 ?高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng) ?使用高精度氣體流量計(jì)，高穩(wěn)定性 ?采用純凈的石英窗 |
主要技術(shù)參數(shù)：
| 微波功率 | 0.6kW － 6kW 連續(xù)可調(diào) 2.45 GHz |
| 反應(yīng)腔 | 圓柱形反應(yīng)腔 |
| 真空漏率 | ≤5×10-10Pa·m3/s |
| 氣體質(zhì)量流量控制 | 標(biāo)配5路，可定制 |
| 工作氣壓 | 1kPa - 30kPa |
| 基板臺(tái)類型 | 水冷式基板臺(tái) |
| 標(biāo)準(zhǔn)襯底托 | **支持60mm直徑圓臺(tái)面積穩(wěn)定沉積 |
| 樣品臺(tái) | 多層升降 |
| 操作系統(tǒng) | PLC控制系統(tǒng) |
| 樣品臺(tái)升降功能 | 有，可選 |
| 樣平臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能 | 有 |
| 旋轉(zhuǎn)模式 | 連續(xù)旋轉(zhuǎn)、間歇旋轉(zhuǎn) |
| 旋轉(zhuǎn)角度 | 360° |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 0-20轉(zhuǎn)/分，可調(diào)節(jié) |
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