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一體式垂直氣流碳化硅外延設(shè)備品牌
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技術(shù)優(yōu)勢
設(shè)備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權(quán)，具有差異化的進(jìn)氣方式、垂直氣流和溫場控制技術(shù)，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術(shù)指標(biāo)和性能，在高產(chǎn)能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制、低缺陷率、維護(hù)便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢。
工藝性能
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