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設(shè)備名稱：鈣鈦礦太陽能電池蒸發(fā)設(shè)備（鍍膜機+手套箱復(fù)合型）
設(shè)備型號：ZHDS400
鍍膜方式：金屬 + 有機/無機蒸發(fā)
真空腔室結(jié)構(gòu)：SUS304 方箱式，配有前、后門
真空腔室尺寸：L400mmxW440mmxH450mm
加熱溫度：室溫-300℃（選配）
基片臺尺寸：抽屜式：120mmx120mm可旋轉(zhuǎn)、升降、水冷
膜厚不均勻性：≤±5.0%（120mmx120mm范圍內(nèi)）
蒸發(fā)源：金屬 2 組 + 有機 4 組或更多，有機配溫控式加熱電源，金屬電源 （國產(chǎn)或進口）
晶振膜厚監(jiān)控儀：國產(chǎn)或進口（可選）
控制方式：PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積：L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
總功率：≥ 10kW 三相五線制

1. 技術(shù)先進、設(shè)計優(yōu)化，性價比高，性能穩(wěn)定，使用維護成本低。

2. 適用于蒸發(fā)/磁控濺射與手套箱環(huán)境有機融合，實現(xiàn)制備、封裝、測試等工藝無縫對接，廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池 /OPV 有機太陽能電池及 OLED薄膜等研究系統(tǒng)等。

3. 鈣鈦礦蒸鍍適用范圍：有機材料，常見如C60、BCP制備電子傳輸層。無機材料，如LiF、MgF 制備鈣鈦礦層修飾層，金屬材料，如Cu,制備背電極。