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1.可對應(yīng) 100 毫米至 200 毫米的晶圓尺寸。
2.所有設(shè)備均內(nèi)置搬運系統(tǒng)和對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，導(dǎo)入后可立即投入生產(chǎn)。
3.具備簡單易懂的操作系統(tǒng)，任何人都能快速上手操作。
4.具備配方管理、日志管理等強(qiáng)大的生產(chǎn)管理功能，可切實保障品質(zhì)管理。
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