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Machine features
本機(jī)器采用硅片自動(dòng)旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為：如圖a采用略大于硅片的工件轉(zhuǎn)臺(tái)，工件通過真空吸盤在工件轉(zhuǎn)臺(tái)中心，磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn)，進(jìn)行切入減薄，砂輪與工作的接觸長度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定、加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對(duì)較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。
上、下研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu)，定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒有機(jī)械軸承的摩擦力，磨損程度降到了*低，從而確保精度始終保持穩(wěn)定。
氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。
氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)，使得表面光度達(dá)到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來自外負(fù)載的作用力，在其旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。
底座采用鑄件加大理石，Z軸進(jìn)給立柱采用大理石，提高機(jī)器整體剛性以及機(jī)器的穩(wěn)定性。
Technical Parameter
| 項(xiàng)目 | 5.5KW氣浮主軸 | 11KW氣浮主軸 | 5.5KW~15KW機(jī)械主軸 |
| 晶圓尺寸 | 8寸 | 12寸 | 8寸~12寸 |
| 設(shè)備總功率 | 8.5Kw | 13.5Kw | 9.5KW~15KW |
| 額定轉(zhuǎn)速 | 2000rpm | 2500rpm | 3000rpm |
| 主軸額定功率 | 5.5KW | 11KW | 5.5KW~15KW |
| **轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 3000rpm | 5000rpm |
| 氣壓 | 5~7KG | 5~7KG | -- |
| 重復(fù)定位精度 | ≤2um | ||
| TTV | ≤2um | ≤2um | ≤3um |
| 表面粗糙度Ra | 0.15（2000#） | ||
| 設(shè)備尺寸（WXDXH） | 1260x1200x1950mm | ||
| 設(shè)備重量 | 約2.3t | 約2.5t | 約2.5t |
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