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高級(jí)會(huì)員 第 3 年
名 稱:牛津儀器科技(上海)有限公司認(rèn) 證:工商信息已核實(shí)
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產(chǎn)品簡介
掃描電容顯微鏡(SCM)是一種表征材料納米電學(xué)性質(zhì)的原子力顯微鏡(AFM)成像技術(shù),它使用微波射頻(RF)信號(hào)來探測(cè)半導(dǎo)體和其它種類樣品中的電荷,載流子的位置,摻雜水平和摻雜類型(p型和n型)等。全新快速掃描電容顯微鏡 SCM可以在牛津儀器的 Asylum Research 的快速掃描 Cypher 和 Jupiter XR AFM 平臺(tái)上使用。
牛津儀器Asylum Research SCM模式的獨(dú)特之處在于,它不僅可以測(cè)量微分電容(dC/dV),還可以測(cè)量分辨率低至1aF的電容,而且是可以直接測(cè)量電容。與傳統(tǒng)的SCM相比,它具有更高的分辨率和更快的掃描速度。更高的靈敏度允許探測(cè)金屬和絕緣體,以及傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件以外的非線性材料——包括那些不形成自然氧化物層的材料。
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