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應(yīng)用：
◆尼康(Nikon)和佳能(Canon)光刻機(jī)。
技術(shù)參數(shù)：
Tanehashi公司致力于向尼康(Nikon)和佳能(Canon)光刻機(jī)用戶提供性能可靠的光罩盒。其產(chǎn)品適用于開放式卡盒（Open Cassette）光刻機(jī)。
主要特點(diǎn)：
◆產(chǎn)品成熟，質(zhì)量可靠；
◆防靜電（ESD），性能優(yōu)良；
◆適用于5”或6”光刻機(jī)；
◆適用于單膜或雙模的光掩膜。
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