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DJ MicroLaminates成立于二零零九年,以銷售電子光刻膠材料技術(shù),并提供產(chǎn)品開(kāi)發(fā),工藝開(kāi)發(fā)服務(wù)和市場(chǎng)開(kāi)發(fā)活動(dòng)。由DJ MicroLaminates開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品有針對(duì)性的技術(shù),以滿足先進(jìn)的MEMS制造和晶圓級(jí)封裝的需求。
DJ MicroLaminates目前開(kāi)發(fā)的光刻膠干膜(TDFS),是層壓板預(yù)切晶圓或基板尺寸。
SUEX TDFS
是感光厚環(huán)氧樹(shù)脂片,應(yīng)用于晶圓級(jí)封裝和MEMS。該片材由兩個(gè)被剝離的聚酯薄膜保護(hù)層(PET)中間包含的陽(yáng)離子固化改性環(huán)氧樹(shù)脂的光阻構(gòu)成。環(huán)氧樹(shù)脂的光阻中含有無(wú)銻的光酸生成劑,并在一個(gè)嚴(yán)格控制的無(wú)溶劑的過(guò)程中制備,它能提供均已的涂層。該方法應(yīng)用于負(fù)性光阻的開(kāi)發(fā),該種光阻對(duì)在350-400nm的范圍內(nèi)的紫外線輻射敏感。
DJ MicroLaminates提供的產(chǎn)品是SUEX, SUEX Plus,以及ADEX系列的環(huán)氧樹(shù)脂負(fù)性光刻膠干膜,厚度范圍在5微米至超過(guò)1mm內(nèi)。干膜很容易層壓在基板表面,并可在幾分鐘內(nèi)預(yù)備使用。
SUEX適合并且與以下物質(zhì)有良好的粘合性:硅,氮化硅,銅,金,玻璃,聚合物和其它金屬和氧化物。
標(biāo)準(zhǔn)厚度:
100um,150um,200um,250um,350um,500um,650um,750um和1mm
一般儲(chǔ)存溫度:
使用之前,應(yīng)在21℃至25℃溫度中存放15-18小時(shí),這樣為**效果,并易于加工。
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻膠
1)總處理時(shí)間:小于5分鐘
2)**的厚度均勻性,邊緣無(wú)光
3)高熱穩(wěn)定性-高韌性
4)無(wú)銻化學(xué)環(huán)境,無(wú)材料浪費(fèi)
選擇干膜的優(yōu)勢(shì)
1)無(wú)需昂貴的勻膠和烘膠設(shè)備
2)對(duì)Fab環(huán)境要求較低
3)整片晶圓上厚度均勻
4)無(wú)需去邊工藝
5)100%平坦化(真空壓膜)
6)膠膜內(nèi)部成份分布均勻
7)適合UV和X射線曝光
8)高透過(guò)率
9)生產(chǎn)過(guò)程中減少了溶劑使用
10)綠色環(huán)保
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