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TFC-6500B品牌
碳方程產(chǎn)地
山西樣本
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TFC-6500B，微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）設(shè)備是***的 CVD 系統(tǒng)。針對(duì)用戶的具體要求設(shè)計(jì)和研制的一臺(tái)多用途、高穩(wěn)定中等壓強(qiáng)微 波等離子體（MPCVD）綜合設(shè)備。
產(chǎn)品特性
* 高純高真空不銹鋼腔體(無硅污染 )
★ 可95%功率高效穩(wěn)定運(yùn)行
★可單次生產(chǎn)7*7 mm單晶毛坯21粒
★ 水冷卻腔體(無風(fēng)冷噪音)
★ 可均勻生產(chǎn)2 inc多晶
★ 產(chǎn)品凈度等級(jí)可達(dá)VVS級(jí)
*生長機(jī)臺(tái)可自動(dòng)調(diào)節(jié)范圍達(dá)15MM
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