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AR9000RR 全自動(dòng)環(huán)切機(jī)
AR9000RR 全自動(dòng)環(huán)切機(jī)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

AR9000RR 全自動(dòng)環(huán)切機(jī)

品牌

京創(chuàng)先進(jìn)

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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AR9000RR 全自動(dòng)環(huán)切機(jī)

主要特點(diǎn):

▏多軸聯(lián)動(dòng)環(huán)切技術(shù),保證環(huán)切精度。
定制化工作臺(tái)設(shè)計(jì),保證TAIKO工藝下晶圓特殊結(jié)構(gòu)穩(wěn)定加工。
四工位,多片協(xié)調(diào)加工,加工效率高。
全自動(dòng)上下料、傳輸定位、清洗 、解膠、取環(huán),實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行模式,大大降低OP工作量。
穩(wěn)定的TAIKO外環(huán)解膠和取環(huán)。
兼容性好,與市面上的其他類型設(shè)備,關(guān)鍵耗材兼容性高。
便捷的操作和人機(jī)交互界面。


先進(jìn)功能:

? 掉環(huán)檢測(cè)功能;
?工作臺(tái)自動(dòng)清洗功能;
?智能UV解膠系統(tǒng);
? 操作日志記錄功能;
?二流體清洗功能;
?真空預(yù)警與真空管路去水功能;
?搬運(yùn)撞擊檢測(cè)功能;
? 條形二維碼識(shí)別功能;
? *工廠自動(dòng)化模塊;
? *軟件定制。

詳情

應(yīng)用:

主要用于TAIKO工藝下的半導(dǎo)體晶圓的全自動(dòng)外環(huán)去除,適用于特定半導(dǎo)體等材料。

技術(shù)指標(biāo):

**工作物尺寸

mm

?12" 

主軸

配置方式


單軸

轉(zhuǎn)速

Rpm

3,000-60,000

輸出功率

kW

1.8(2.4可選) at 30,000min-1

**刀片徑

mm

?58

X軸

可切割范圍

mm

310

Y軸

可切割范圍

mm

310

單步步進(jìn)量

mm

0.0001

定位精度

mm

0.003以內(nèi)/310  0.002以內(nèi)/5(單一誤差)

Z軸

移動(dòng)量分辨率

mm

0.00005

重復(fù)精度

mm

0.001

θ 軸

**旋轉(zhuǎn)角度

deg

380

主軸形式


單主軸,安裝硬刀盤做環(huán)形切割

環(huán)切精度

μm

±50

晶圓定位精度

μm

±50

單片效率

min/片

8

多片效率


*多4片同時(shí)加工

設(shè)備重量

Kg

≈3,200

設(shè)備尺寸/ W*D*H

mm

2,730*1,550*2,070

使用條件

? 請(qǐng)使用大氣壓露點(diǎn)在-15 ℃以下殘余油分為0.1 ppm,過濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。
? 請(qǐng)將放置機(jī)械設(shè)備的房間室溫設(shè)定在20 ℃?25 ℃之間,并將波動(dòng)范圍控制在±1 ℃以內(nèi)。
? 請(qǐng)將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃(變化波動(dòng)范圍在±1 ℃以內(nèi)),將冷卻水的水溫控制為與室溫相同(變化波動(dòng)范圍在±1 ℃以內(nèi))。


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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
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