看了美國Cascade EPS探針臺的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
儀器簡介:
Cascade Microtech 的 EPS系列測量平臺是一款結(jié)構(gòu)簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺,解決了一系列的測量難題。該探針臺采用了一種模塊化設(shè)計,提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。您可以通過確定*適合自己當前需要的 EPS模塊來設(shè)計特有的探針臺,或?qū)ψ约含F(xiàn)有的 EPS進行升級以滿足未來的測量需求。
優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得EPS能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測、MEMS和光學工程測量;EPS也能用作一個靈活的探頭卡,實現(xiàn)wafer級的可靠性應(yīng)用(WLR),能同時配備多達20個探針座。
技術(shù)參數(shù):
基座 基本尺寸 Z軸可移動范圍
標準平臺 490mm x 490mm×480mm 10mm
X-Y-θ平臺 XY范圍 *小步長 θ范圍 晶圓范圍
EP6標準平臺 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸
主要特點:
1. 結(jié)構(gòu)簡單、多功能;
2. 平臺配置可滿足DC、RF測量;
3. 獨特的模塊化設(shè)計可根據(jù)客戶的需要配置和升級;
4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件;
擴展功能:
1、射頻頭部;
2、探針卡端口;(出廠前配置)
3、光電屏蔽箱;
4、CCD視頻系統(tǒng);
5、溫控模塊;(常溫-300℃可選)
6、EPS_FA可配置激光等。
暫無數(shù)據(jù)!