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SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備
SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備

參考價格

面議

型號

SAB6410TB-全自動 臨時鍵合設(shè)備

品牌

青禾晶元

產(chǎn)地

天津

樣本

暫無
青禾晶元半導(dǎo)體科技（集團(tuán)）有限責(zé)任公司

高級會員

|

第1年

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SAB6410TB是一款全自動臨時鍵合機(jī)，集成旋涂、烘烤、對準(zhǔn)、鍵合等功能，通過黏合劑將兩個晶圓鍵合在一起，從而可進(jìn)行器件晶圓的背面工藝。

  • 項目

    指標(biāo)

  • 晶圓尺寸

    4、6、8、12inch

  • **溫度

    350℃

  • **壓合力

    20kN，控制精度 ≤±1%

  • **升溫速度

    20℃/min

  • 溫度均勻性

    ≤±1.5%

  • 對準(zhǔn)精度

    ≤±100μm

  • 鍵合后TTV

    ≤3μm

  • 多模塊一體化集成

    尋邊、旋涂、烘烤、鍵合、檢測


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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

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