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產(chǎn)品摘要

該設備可蒸發(fā)鍍金、銀、鈦、鉻、鉬、S1O2/ITO/AZO/氧化鎳等材料。兼容電子束后可蒸發(fā)高熔點材料如氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氧化鉿等。系統(tǒng)可集成電阻電子束、電阻蒸發(fā)、有機蒸發(fā)對接手套箱系統(tǒng)實現(xiàn)旋涂、鍍膜、測試等工藝流程在無水無氧手套箱環(huán)境下進行。

產(chǎn)品介紹

設備特點：

★機械泵前加裝過濾網(wǎng)，抽氣口加裝過濾網(wǎng)、百葉窗等防護件，氣路設計避免揚塵

★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦控制可選，完善的邏輯程序互鎖保護及異常報警

★自動控制蒸發(fā)源輸出，可選配共蒸發(fā)制備工藝

設備參數(shù)：

★腔體尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600/800×700×700

設備尺寸（L×W×Hmm)：1200×950×2000/1850×870×2100

★真空極限：優(yōu)于（3E﹣05）Pa

抽速保壓：（8E﹣04）≤20min保壓12小時≤5pa

★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復性優(yōu)異（±3％~±5%）

★基片臺：210mm×210mm/350mm×350mm

★蒸發(fā)源：可搭配4～8組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發(fā)，可與電子束進行對接