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面議型號
PD-400S/450S高真空蒸鍍設(shè)備(手套箱)品牌
普迪真空產(chǎn)地
湖北樣本
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產(chǎn)品摘要
該系列設(shè)備為鈣鈦礦太陽能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄膜等產(chǎn)業(yè)研發(fā)專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的不同材料薄膜制備研究。也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等。設(shè)備可與手套箱對接方便在手套箱中操作,前滑動開門結(jié)構(gòu),設(shè)備可融入手套箱整體設(shè)計、設(shè)備機(jī)架在手套箱下方不占用額外空間。
產(chǎn)品介紹
設(shè)備特點:
★前后開門保證密封,前滑動開門操作輕便,氣動自動鎖緊;開后門裝料/檢修時大氣不會進(jìn)入手套箱環(huán)境,后門關(guān)閉時可直接通過把手鎖緊密封
★溫控有機(jī)蒸發(fā)源采用控溫式束源爐結(jié)構(gòu)擋板一體化設(shè)計保證有機(jī)材料不被污染,不僅角度可調(diào),均勻性好還可通過進(jìn)口膜厚儀聯(lián)動控制實現(xiàn)速率精確控制、摻雜等
★設(shè)備兼容有機(jī)/無機(jī)蒸發(fā),多元共蒸復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜
★樣品臺可升降調(diào)整源-基片距離,有效節(jié)約貴重材料,降低實驗成本
★系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏操作,整體美觀操作簡單,自動化程度高
設(shè)備參數(shù):
★腔體尺寸(L×W×Hmm):400×400×450/450×400×550
設(shè)備尺寸(L×W×Hmm):950×780×1900/950×830×1900
★真空極限:優(yōu)于(2E﹣05)Pa
抽速保壓:(5E﹣04)≤20min 保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異(±3%~±5%),重復(fù)性優(yōu)異(±3%~±5%)
★基片臺:150mm×150mm/200mm×200mm
★蒸發(fā)源:可搭配4~8組蒸發(fā)源(兼容金屬與有機(jī)),可共蒸或切換蒸發(fā)
暫無數(shù)據(jù)!