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設(shè)備名稱：納米超硬涂層設(shè)備
設(shè)備型號：GDM1000
真空腔室尺寸：Φ1000mm×H1200mm
真空系統(tǒng)：國產(chǎn) / 進(jìn)口分子泵 + 羅茨泵 + 機械泵高真空系統(tǒng)
極限真空：優(yōu)于 8.0×10-5Pa
抽速：從大氣到 5.0×10-3Pa ≤ 25min 升壓率關(guān)機 12 小時后真空度≤ 10Pa
工件架尺寸：8 ～ 12 工位，3 軸聯(lián)動工件架二套；配專用工件車
工件烘烤溫度：室溫～ 500℃，可調(diào)可控（PID 控溫）
配置：新型弧源 6-12 只可選、離子源、偏壓
系統(tǒng)：全自動控制系統(tǒng)，個性化的 Tech-Coating 控制菜單，安全保護(hù)系統(tǒng)
占地面積：L4000mm×W3000mm

該設(shè)備可制備TiN\CrN\AlCrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等，非常適合生產(chǎn)企業(yè)大批量在刀具（鉆頭、銑刀、拉刀、絲錐、滾齒刀、車刀、刀粒等）、高精工模具（沖壓模具、剪切模具、成型模具、注塑模具等）及其他關(guān)鍵部件上鍍制單層/多層硬質(zhì)涂層、耐腐蝕涂層等功能薄膜。

設(shè)備采用全自動的控制方式，先進(jìn)的工藝流程控制模式，性能穩(wěn)定可靠，操作簡單方便。并集成先進(jìn)的新型弧源鍍膜技術(shù)和離子輔助前處理鍍膜技術(shù)，可鍍高質(zhì)量、成膜致密、結(jié)合力好、硬度高的硬質(zhì)涂層，大幅度提高工具及刀具使用壽命。該設(shè)備集成國際**技術(shù)，性能國內(nèi)**。