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公斤級(jí)粉末原子層沉積鍍膜系統(tǒng)
詳情介紹:
KG 系列粉末ALD包覆設(shè)備可用于電池、催化劑、磁性材料等材料的高精度包覆量產(chǎn)。
該系統(tǒng)能夠包覆原子層級(jí)到納米層級(jí)的范圍內(nèi)的厚度,具有超高靈敏度、均一性和重復(fù)性, 并具有高自動(dòng)化程度,操作方便、擴(kuò)展靈活。
技術(shù)參數(shù):
均一性 < 3%
工藝溫度 RT-300℃
極限壓力 < 500mTorr
罐體容積近60L,百公斤級(jí)別/批次
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