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廈門韞茂科技有限公司

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桌面型原子層沉積系統(tǒng)

桌面型原子層沉積系統(tǒng)
  • 品牌:韞茂科技
  • 產(chǎn)地:福建
  • 關(guān)注度:2421
  • 型號:MINI
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
  • 重量(kg):30Kg
  • 規(guī)格外形(長*寬*高):550*400*400mm
產(chǎn)品介紹

桌面式平片原子層沉積系統(tǒng)


微信圖片_20220606163735.jpg


       原子層沉積(Atomic layer deposition)是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù),具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無針孔、高保形的納米薄膜。 


產(chǎn)品描述


   廈門韞茂科技公司研發(fā)的超小型桌式 ALD 原子層沉積設(shè)備是先進(jìn)材料研究的有力設(shè)備之一,它可以在6寸晶元(向下兼容)和微納米粉體上實現(xiàn)均勻可控的原子層沉積,具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,設(shè)各配有獨(dú)立控制的300℃完整加熱反應(yīng)腔室系統(tǒng),保證工藝溫度均勻,該系統(tǒng)具有**粉末樣品桶、晶元載盤,全自動溫控制、 ALD 前驅(qū)體源鋼瓶、自動溫度控制閥、工業(yè)級安全控制,以及現(xiàn)場 RGA 、 QCM 、臭氧發(fā)生器、手套箱等設(shè)計選項,是先進(jìn)能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應(yīng)用的**研發(fā)工具




主要技術(shù)參數(shù)


Mini Desktop ALD 技術(shù)參數(shù) Technical Specifications (HfO2, ZnO, Al2O3, TiO2等制備)
特色 Feature結(jié)構(gòu)緊湊,世界上極小尺寸的桌式ALD World Smallest Footprint Desktop ALD
功能 Function高端制造,功能強(qiáng)大,操作簡易,維護(hù)方便
樣品**尺寸Ф100mm (其他尺寸可定制)硅片或幾克粉末
樣品反應(yīng)溫度 HeatingRT-450℃
前驅(qū)體 Max Precursor**可4組液態(tài)或固態(tài)反應(yīng)前驅(qū)體, Max 4 Liquid/Solid Precursors,可定制 Can Be Customized 
前驅(qū)體加熱**溫度 Max Precursor Heating RT-200
包覆均一性 Uniformity<1% (Al2O3)
成膜速率 Deposition Rate1A/Cycle (Al2O3)
臭氧發(fā)生器Ozone Generator可選配,生產(chǎn)效率15g/h
人機(jī)界面 HMI全自動化人機(jī)操作界面
安全Safety工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖Industry Safety Interlock,報警Alarm,EMO





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工商信息

企業(yè)名稱

廈門韞茂科技有限公司

企業(yè)類型

信用代碼

91350200MA31JEYQ4Y

法人代表

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成立日期

注冊資本

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廈門韞茂科技有限公司成立于2018年,團(tuán)隊成員擁有豐富的薄膜沉積工藝及設(shè)備開發(fā)產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗。公司目前已擁有各類**技術(shù)近50項,入選國家級高新技術(shù)企業(yè)及國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。韞茂科技專注于鋰電池、光伏、Mini/Micro LED、先進(jìn)光學(xué)、碳化硅、集成電路、超導(dǎo)材料和器件等領(lǐng)域薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn),目前已形成了以ALD原子層成膜系統(tǒng)、PVD物理氣相沉積系統(tǒng)、CVD 化學(xué)氣相系統(tǒng)、Epitaxy外延爐等一系列薄膜沉積設(shè)備為核心的產(chǎn)品矩陣。憑借在先進(jìn)材料設(shè)備業(yè)

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