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廈門韞茂科技有限公司
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超高真空雙傾角室蒸發(fā)設(shè)備
技術(shù)參數(shù) ：
1、UHV超高真空腔體：2腔室，負(fù)荷鎖和蒸發(fā)，負(fù)荷鎖極限真空 極限壓力<1E-8 Torr，可加熱RT-900oC
2、蒸發(fā)腔：極限真空 極限壓力<3e-9 Torr
3、高分辨率鍍膜速率顯示及控制 ：±0.015，?100mm鍍膜均一性<3%
4、基板操控能力：可實(shí)現(xiàn)180度傾斜及360度旋轉(zhuǎn)，0.1度的精準(zhǔn)控制，加熱RT-600oC
5、傳輸 ：全自動(dòng)樣品傳輸
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