- 品牌:韞茂科技
- 產(chǎn)地:福建
- 關(guān)注度:3205
- 型號:QBT-MP
- 報價:面議
- 信息完整度:
超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù):
基板:可加熱至RT-900oC,可旋轉(zhuǎn),基板與靶材距離連續(xù)可調(diào),晶圓和靶空間可以連續(xù)變化
極限真空:<3E-9Torr
基板傳輸:高度可靠和可重復(fù)的基板傳輸能力
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