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單腔型高真空蒸鍍系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情：

單腔設(shè)計，緊湊經(jīng)濟，輕松擁有高質(zhì)量鍍膜系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)：

1極限真空：<2E-7Torr

2排氣速率：從ATM到3E-6Torr<15min

3基板加熱 ：RT-300oC

4高分辨率鍍膜速率顯示及控制：±0.015?

5**基板尺寸：200mm

6前后門設(shè)計可集成手套箱：可選配手套箱

7人機界面：自動化人機操作界面

8安全：全工業(yè)標準安全互鎖，工業(yè)安全聯(lián)鎖，報警裝置

廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設(shè)備業(yè)務(wù)方面多年的經(jīng)驗，韞茂為新型芯片，半導體和鋰電池領(lǐng)域的新材料開發(fā)和生產(chǎn)，提供***的納米工藝設(shè)備和服務(wù)解決方案。根據(jù)您的特殊需求，我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺，保證高品質(zhì)的設(shè)計，多功能，易于使用的界面，嚴格的安全控制，以及快速的交付和服務(wù)。